- 氧氮?dú)涮剂虻仍胤治鰞x
- 光譜儀,光度計(jì),光譜分析儀
- 金相顯微制樣檢驗(yàn)分析儀
- 試驗(yàn)機(jī),硬度計(jì)
- 工業(yè)顯微鏡及光學(xué)測(cè)量裝置
- 三坐標(biāo),影像儀等形貌測(cè)量?jī)x
- 熱分析儀,量熱儀
- 質(zhì)譜儀及各類聯(lián)用儀
- 行業(yè)檢測(cè)儀器
- 制樣及前處理設(shè)備
- 配件耗材及配套產(chǎn)品
*設(shè)備照片包含選配項(xiàng)。
日立SU8600系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡特點(diǎn)：
★高分辨成像
日立的高亮度電子源可力求了即使在低著陸電壓下，也可獲得高分辨的圖像。
★高襯度的低加速電壓背散射圖像
3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下，背散射電子信號(hào)能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。
★快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測(cè)器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探測(cè)器，即使掃描時(shí)間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.
★自動(dòng)化功能*
EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動(dòng)化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設(shè)置放大倍率、移動(dòng)樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對(duì)比度等。用戶可以通過簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后，該程序便可以在每次調(diào)用時(shí)自動(dòng)獲得、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
★靈活的用戶界面
原生支持雙顯示器，提供靈活、的操作空間。6通道同時(shí)顯示與保存，實(shí)現(xiàn)快速的多信號(hào)觀測(cè)與采集。1,2,4 或6通道信號(hào)可在同一個(gè)顯示器上同時(shí)顯示，可切換內(nèi)容包括SEM各探測(cè)器以及樣品室相機(jī)和導(dǎo)航相機(jī)?？梢酝ㄟ^使用兩個(gè)顯示器來擴(kuò)展工作空間，可定制的用戶界面以提高工作效率。
日立SU8600系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡規(guī)格：
|
機(jī)型 |
SU8600 系列 |
|
|
電子光學(xué)系統(tǒng) |
二次電子像分辨率 |
0.6 nm@15 kV |
|
0.7 nm@1 kV * |
||
|
放大倍率 |
20 to 2,000,000 x |
|
|
電子槍 |
冷場(chǎng)發(fā)射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽(yáng)烘烤系統(tǒng)。 |
|
|
加速電壓 |
0.5 to 30 kV |
|
|
著陸電壓 * |
0.01 to 20 kV |
|
|
探測(cè)器 |
（部分為選配項(xiàng)） |
上探測(cè)器(UD) |
|
UD ExB能量過濾器，包含SE/BSE信號(hào)混合功能 |
||
|
下探測(cè)器(LD) |
||
|
頂探測(cè)器(TD) |
||
|
TD能量過濾器 |
||
|
鏡筒內(nèi)背散射電子探測(cè)器(IMD) |
||
|
半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器 (PD-BSED) |
||
|
新型閃爍體式背散射電子探測(cè)器(OCD) |
||
|
陰熒光探測(cè)器(CLD) |
||
|
掃描透射探測(cè)器(STEM Detector) |
||
|
附件 |
（部分為選配項(xiàng)） |
導(dǎo)航相機(jī)、樣品室相機(jī)、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測(cè)器(EBSD) |
|
軟件 |
（部分為選配項(xiàng)） |
EM Flow Creater、HD Capture(高 40,960×30,720 像素） |
|
樣品臺(tái) |
馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 |
5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)（X/Y/R/Z/T） |
|
馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 |
X：0~110 mm |
|
|
Y：0~110 mm |
||
|
Z：1.5~40 mm |
||
|
T：-5~70° |
||
|
R：360° |
||
|
樣品室 |
樣品尺寸 |
大直徑：150 mm |
*減速模式下
