產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：日立熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU5000
產(chǎn)品型號(hào)：
產(chǎn)品廠商：日立(Hitachi)

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簡(jiǎn)單介紹：

日立熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU5000分辨率1.2 nm @ 30 kV，可選配低真空模式，真空范圍: 10 - 300 Pa，可選配5分割半導(dǎo)體探測(cè)器 (PD-BSD)、能譜儀 (EDS)、波譜儀 (WDS)、背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD)等多種附件。

詳情介紹：

日立熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU5000特點(diǎn)：
▲高性能電子光學(xué)系統(tǒng)
二次電子分辨率: 頂位二次電子探測(cè)器(2.0 nm at 1kV)＊
高靈敏度: PD-BSD, 強(qiáng)的低加速電壓性能，低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于微區(qū)分析
▲性能優(yōu)良
壓力可變: 具有優(yōu)的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配備高靈敏度低真空探測(cè)器(UVD)＊
開(kāi)倉(cāng)室快速簡(jiǎn)單換樣(大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等
*選配附件

日立熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU5000規(guī)格：

項(xiàng)目

內(nèi)容

分辨率

1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 減速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2

放大倍率

10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)

電子光學(xué)系統(tǒng)

電子槍

ZrO /W 肖特基式電子槍

加速電壓

0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進(jìn))

著陸電壓

減速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1

大束流

> 200 nA

探測(cè)器

低位二次電子探測(cè)器

低真空模式*2

真空范圍: 10 - 300 Pa

馬達(dá)臺(tái)

馬達(dá)臺(tái)控制

5 - 軸自動(dòng) (優(yōu)中心)

可動(dòng)范圍

X：0～100mm
Y：0～50mm
Z：3～65mm
T：-20～90°
R：360°

大樣品尺寸

大直徑: 200 mm
大高度: 80 mm

選配探測(cè)器

高分辨率頂位二次電子探測(cè)器＊1

高靈敏度低真空探測(cè)器 (UVD)

5分割半導(dǎo)體探測(cè)器 (PD-BSD)*3

能譜儀 (EDS)

波譜儀 (WDS)

背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD)

*1：減速功能（包含高分辨率頂位二次電子探測(cè)器）

*2：低真空功能（包含5分割半導(dǎo)體探測(cè)器）

*3：空壓機(jī)(本地采購(gòu))

標(biāo)題：

內(nèi)容：

聯(lián)系人：

聯(lián)系電話：

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滬公網(wǎng)安備 31011302004634號(hào)

項(xiàng)目		內(nèi)容
分辨率		1.2 nm @ 30 kV 3.0 nm @ 1 kV 2.0 nm @ 1 kV 減速模式1 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式2
放大倍率		10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) 30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	ZrO /W 肖特基式電子槍
	加速電壓	0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進(jìn))
	著陸電壓	減速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1
	大束流	> 200 nA
探測(cè)器		低位二次電子探測(cè)器
低真空模式*2		真空范圍: 10 - 300 Pa
馬達(dá)臺(tái)	馬達(dá)臺(tái)控制	5 - 軸自動(dòng) (優(yōu)中心)
	可動(dòng)范圍	X：0～100mm Y：0～50mm Z：3～65mm T：-20～90° R：360°
	大樣品尺寸	大直徑: 200 mm 大高度: 80 mm
選配探測(cè)器		高分辨率頂位二次電子探測(cè)器＊1 高靈敏度低真空探測(cè)器 (UVD) 5分割半導(dǎo)體探測(cè)器 (PD-BSD)*3 能譜儀 (EDS) 波譜儀 (WDS) 背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD)

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產(chǎn)品名稱：日立熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU5000